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关键技术|泽丰实现国内最小Pitch MEMS探针量产
发布时间:2021-10-19

应用场景:


MEMS探针是探针卡的最关键元素,而探针卡主要应用在芯片的CP以及WLFT测试阶段。


关键指标:

探针等效直径:25um

电导率: 4.7

杨氏模量: 117

抗张强度: 1200~1400

针头形状: Flat/Point


* 可调并且很小的弹力 (<2g at max OD)



* 支持50um pitch阵列式MEMS垂直探针卡的设计以及制作


* 疲劳度测试 - 50万次TD之后针尖缩小尺寸小于5um,PM稳定

* 可以基于具体应用定制探针外形以及调整弹力




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