应用场景:
MEMS探针是探针卡的最关键元素,而探针卡主要应用在芯片的CP以及WLFT测试阶段。
关键指标:
探针等效直径:25um
电导率: 4.7
杨氏模量: 117
抗张强度: 1200~1400
针头形状: Flat/Point
* 可调并且很小的弹力 (<2g at max OD)
* 支持50um pitch阵列式MEMS垂直探针卡的设计以及制作
* 疲劳度测试 - 50万次TD之后针尖缩小尺寸小于5um,PM稳定
* 可以基于具体应用定制探针外形以及调整弹力